Vácuo Pfeiffer ontwierp de meertraps rootspompen van de ACP-serie voor olie- en deeltjesvrije toepassingen in het drukbereik tussen atmosferen tot 3 10-2 hPa. De G-versie van de pompen leent zich para o transporte de esporos de gases corrosivos.
Processo Lichte
Lichte processen vereisen steeds meer schoon e droog vacuüm. De meertraps Roots-pompen de Pfeiffer Vacuum lenen zich for industriële en Research & Development-toepassingen en back-end-en processbewaking in de halfgeleidermarkt.
A base de tecnologia de droge meertrapswortelpompen é feita por Pfeiffer Vacuum e uma seleção de pompen para processamento de lichte. Zij combina e constantemente prestatie tijdens de levensduur van de pomp en robuustheid com hoge betrouwbaarheid, aldus de fabrikant.
Luchtgekoelde meertraps rootspompen
De meertraps rootspompen van de ACP-serie zijn volgens de fabrikant bedoeld voor olie- en deeltjesvrije toepassingen in het drukbereik tussen atmosferen tot 3 10-2 hPa. A versão especial G-versie leent zichvoor het transport van sporen van corrosieve gassen. Deze versie van de ACP-serie beveelt het bedrijf aan for transferkamers, processbewakingssystemen en ionenbundeltoepassingen. De CV-versievan de luchtgekoelde ACP-serie tem uma capacidade de água úmida para 1.000 gramas por seu dient de stoomcondensatie no pompblok te voorkomen.
Versículos de Versillende
De ACP-pompen beschikken op based van standaardversie verschillende mogelijkheden om aan te sluiten bij specifieke vereisten.
- De Fluorvrije pompoplossing: heet SH- en R-versie,
- A série com weerstand tegen nucleaire straling: R–versão,
- Voor reciclagem de terugwinning van hoogwaardige gassen: de CP-versie.
- De ACP 120 G e ACG 600 G feito para a indústria de passagem
Op based van de tienduizenden wereldwijd geïnstalleerde halfgeleiderprocespompen biedt de ACP 120 Gook in industriële toepassingen de voordelen van de meertraps Roots-pompen. De watergekoelde pomp beschikt over een spoelgasleiding para licht-corrosieve processen de seus médiuns verpompen van condenseerbare. Na combinação encontramos rootspompen leent de ACP 120 G zich ook para verschillende gemalen. A estação de pompstation Roots ACG 600 G vormt de base van een volledig smeermiddelvrij pompsysteem para vacuümoplossingen in decoratieve of gereedschapscoating.
Compactar
Het ontwerp van de compacte droge pompen A 100 L e A 200 L leent que pode ser integrado em halfgeleiderproductiesystemen. De A 200 L é geoptimalisierd om te voldoen aan de zwaarste, frequente pompcycli van het pompen van belasting/sloten. Denk aan toepassingen als lastvergrendeling, transferkamers, sputteren, Pvd e metrologie.
